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氢气爆发器在MOCVD中的普遍应用先容

宣布时间：

2022-06-16

【提要形貌】MOCVD是一种新型的气相外延生长手艺， ，， ，，它是在气相外延生长（VPE）的根底上开展起来的， ，， ，，是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源资料， ，， ，，以热合成回声方式在衬底上阻止气相外延， ，， ，，生长种种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶资料。。。。氢气爆发器在MOCVD中的普遍应用：

    MOCVD是一种新型的气相外延生长手艺， ，， ，，它是在气相外延生长（VPE）的根底上开展起来的， ，， ，，是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源资料， ，， ，，以热合成回声方式在衬底上阻止气相外延， ，， ，，生长种种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶资料。。。。氢气爆发器在MOCVD中的普遍应用：

    在MOCVD中， ，， ，，氢气能够继续载气， ，， ，，将III（II）金属有机物和V（VI）族氢化物以及掺杂源携带运输到回声室内， ，， ，，为化学群集回声和薄膜生长提供根底， ，， ，，MOCVD请求氢气纯度≥99.999%（≥5N）， ，， ，，入口压力为4-7bar,而氢气爆发器所产氢气能够契合这一领域的用气需求。。。。同时， ，， ，，氢气纯度稳固稳固， ，， ，，镌汰了氢气纯度摇动对装备的影响。。。。

    除此之外， ，， ，，装备操作便当， ，， ，，包管氢气供应一连不一连， ，， ，，用户无需担心氢气用完， ，， ，，也无需和高压气体钢瓶接触， ，， ，，爆发器自动运转， ，， ，，无需特殊人工操作； ；；；；爆发器自动侦测自己事情状态和过失， ，， ，，一旦侦测异常， ，， ，，爆发器报警。。。。下面引见MOCVD氢气爆发器相关信息。。。。

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